MFX-100PC

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仕  様
■入 力     AC100V 1KVA 50/60Hz
■菅電圧     20~100KV(焦点 5μm)
■菅電流     100Μa
■防護箱     1300(W)×900(D)×2200(H)
■カメラ       650万画素I.Iカメラ
■幾何学的拡大率 約40倍
■操作盤     ラックサイズ
■ワークテーブル 850(W)×420(D)
■実可動     240(W)×240(D)
■重 量     約1000Kg
■漏洩線量    1μSV/Hr以下

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